關於 cmp原理 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 化學機械研磨製程對晶圓不均勻度之影響最佳化分析

機械研磨(Chemical Mechanical Polishing,簡稱CMP)運作過程中，晶圓表面von Mises 應 ... polishing ;CMP)製程能夠達標[2]，亦稱為 ... 2.1 材料移除率原理. CMP 主要 ...

#12. 360°科技－CMP

化學機械研磨製程(Chemical Mechanical Polishing；CMP)是現在唯一能提供 ... 的步驟，這項平坦化技術的原理就是利用類似“磨刀”這種機械式的原理， ...

#13. 半導體平坦化CMP技術| 天瓏網路書店

書名：半導體平坦化CMP技術，ISBN：9572129147，作者：王建榮、林必窈、林慶福， ... 3.3 決定平坦化均勻度的研磨墊3-53: 3.3.1 從CMP的基本原理來看研磨墊與特性3-53 ...

#14. 化学机械抛光技术（CMP）中有哪些核心材料？ - 知乎专栏

CMP 工作原理示意图. CMP技术对于半导体晶圆加工不可或缺，其加工质量与其中各类关键材料的作用息息相关，由下图可知，在晶圆制造中，CMP抛光材料约占据总成本的7%，而 ...

#15. 半導體產業鏈研究：CMP材料和設備迎發展機遇

隨着半導體制程的縮小帶動了CMP工藝步驟數量的提升，同時也對拋光材料設備的要求 ... 專利保護，因此需要長時間的嘗試才能實現研發需要長時間研究摸索才能掌握其原理。

#16. 半導體化學機械研磨(CMP)材料供應商名單彙整｜方格子vocus

化學機械研磨(簡稱CMP)技術，可以將晶圓(wafer)的表面研磨成像鏡面一樣光滑。CMP製程會用到研磨液(CMP slurry)、研磨墊(CMP pad)及鑽石碟(CMP ...

#17. 晶圆研磨，CMP工艺是关键！

CMP 作业原理. 通过CMP设备，利用抛光头将晶圆需要抛光的向下按压在抛光 ...

#18. 成品培養基簡介、用途、型態CMP® | 啟新生物科技

成品培養基簡介、用途、型態CMP®. 微生物生長所需的主要元素為碳、氫、氧、氮、硫、磷，其中碳與氮是需求最大的元素，除了部分微生物生長需要特殊營養且無法於實驗室 ...

#19. 研磨耗材 - 弘武科技股份有限公司

CMP 化學機械拋光技術它利用了磨損中的”軟磨硬”原理，即用較軟的材料來進行拋光以實現高品質的表面拋光。在一定壓力及拋光液的存在下，被拋光晶片壓在與其同方向旋轉的 ...

#20. 蝕刻技術

半導製程原理與概論Lecture 8. 蝕刻技術. (Etching). 嚴大任助理教授. 國立清華大學材料科學工程學系 ... ▫CMP has become a very useful technique for either.

#21. DynamoDB 加密用户端的工作原理

加密資料，包括加密金鑰和簽署金鑰。其將從您選取及設定的密碼編譯資料提供者 (CMP) 取得這些資料。 加密並簽署項目的指示。

#22. 化學機械拋光機介紹 - YouTube

Logitech Chemical Mechanical Polishing CMP Processes & Systems – 化學機械拋光機介紹. SunPro勝博國際. SunPro勝博國際. 37 subscribers.

#23. 【半導体】CMPとは？平坦化の原理 - Semiジャーナル

CMP とは？(出典:アンカーテクノ株式会社)CMPは「研磨剤の入った薬品と砥石でウェーハの表面を磨き、平坦化する技術」です。

#24. Cmp 製程工程師

想问下cmp这种工艺有Find and apply for 製程整所謂的CMP(化學機械 ... 前輩的經驗，謝謝～ 如果沒去研替可能就CMP製程技術與原理介紹在CMP製程中，能 ...

#25. 化學機械拋光技術 - 中文百科全書

化學機械拋光技術(Chemical Mechanical Polishing，CMP)是積體電路製造中獲得全局 ... 下圖所示為一個簡單的CMP工藝原理示意圖，將晶圓片固定在一個旋轉的吸盤上，該 ...

#26. CMP拋光液《簡介》_台灣聯合磨料有限公司

CMP 【二氧化矽拋光液】 ... CMP技街綜合了化學和機械拋光的優勢： ... 有一些或大或小的劃痕，而CMP拋光液利用〝軟磨硬〞的原理很好的實現了藍寶石表面的精密拋光。

#27. 知識力

化學機械研磨的原理化學機械研磨(CMP)的原理非常簡單，大家一定都看過或使用過銅油去擦銅器(例如：銅扣、銅環等)，會使銅器表面變得閃亮亮像鏡子 ...

#28. 行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告

CMP 游離/固定拋光墊之定量評估修整與奈米級拋光墊之研 ... CMP 原理是所有超大型積體 ... 利用CMP 進行矽晶圓表面拋光，其目的主要是在磨除前段製程所產生的表.

#29. 化学机械抛光（CMP）是什么？主要应用在哪？ - 三个皮匠报告

CMP 工作原理是在一定压力下和抛光液的作用下，使得被抛光的晶圆对抛光垫做相对运动，加之有机结合纳米磨料的机械研磨作用和氧化剂、催化剂等的化学腐蚀作用，使得物质能够 ...

#30. CMP的工作原理及上游材料包括哪些？ - 问答集锦- 未来智库

CMP 工作原理是在一定压力下及抛光液的存在下，被抛光的晶圆对抛光垫做相对运动，借助纳米磨料的机械研磨作用与各类化学试剂的化学作用之间的高度有机结合 ...

#31. 半導體系列課程【台北班】半導體製程原理與概論完整解析

本課程幫助學員了解完整的半導體製程技術原理與技術前後之關聯，並且介紹以矽為主要 ... 參數 電漿乾蝕刻原理及其應用 乾蝕刻的限制 濕蝕刻 化學機械研磨(CMP)

#32. 化学机械抛光(CMP) 技术的发展、应用及存在问题

本文综述了化学机械抛光的基本工作原理、发展状况. 及存在问题。 关键词: CMP 设备研浆平面化技术. Advances and Problems on Chemical Mechanical Polishing.

#33. CMP 量測技術課程

下午則由陳俊賢講師為各位講述使用光學來量測半導體元件結構尺寸，以及概述如何藉由所獲得的尺寸來增進CMP的效能。課程首先會介紹光學量測(OCD Metrology)的原理以及背景， ...

#34. SiC单晶片CMP超精密加工技术现状与趋势

文摘综述了半导体材料SiC抛光技术的发展,介绍了SiC单晶片CMP技术的研究现状, 分析了CMP. 的原理和工艺参数对抛光的影响,指出了SiC单晶片CMP急待解决的技术和理论问题, ...

#35. 晶圆平坦化的关键工艺，CMP 设备材料国产替代快速推进

而CMP 技术利用磨损. 中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光，避免了由单. 纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成 ...

#36. 剪切应力和泵工作原理对CMP Slurry的影响 - Levitronix

首页 · 媒体中心; 剪切应力和泵工作原理对CMP Slurry的影响. 过滤器. 行业. 微电子学 · 生物工艺 · 其他. 产品. 泵 · 流量感测器 · 终端使用点压力模组 · 槽式混合泵 ...

#37. CMP，化学机械抛光-哔哩哔哩 - BiliBili

化学机械抛光工艺 原理 ：芯片制造简介 CMP Process Fundamentals: Sec 1 - Intro to Chip Manufacturing. 化学机械抛光制程简介.

#38. 水回收技術評選-以半導體廠CMP廢水為例

半導體廠化學機械研磨(CMP)廢水成份複 ... ▫CMP耗水特性：經國內/外統計結果－CMP用水量 ... 原理：. 利用混凝使廢水SiO. 2. 顆粒去穩定化而相互凝聚，再.

#39. 研磨剂,品:FUJIMI,功能用途:CMP机台研磨液,原理:化学 - 飞啊网

研磨剂,品:FUJIMI,功能用途:CMP机台研磨液,原理:化学的海关编码.

#40. 課程清單

半導體材料與CMOS元件基本原理介紹3.矽晶圓製程的介紹4.加熱製程的介紹5電漿基礎原理的介紹6. ... Planarization and Chemical Mechanical Polish (CMP) 10.

#41. cmp抛光机的工作原理以及对半导体行业的意义 - 北京特思迪

cmp 抛光机的工作原理以及对半导体行业的意义 ... 在新闻里大家也许经常会看到一些类似的消息，某某行业由于一些原因又被实施技术封锁，导致芯片奇缺，为了避免出现因为芯片而 ...

#42. 電漿拋光乾式蝕刻為下一代SiC帶來品質優勢 - 電子工程專輯

儘管化學機械拋光(CMP)有一段時期一直是最常用的基板拋光技術，但隨著一種新引進的技術——電漿拋光乾式蝕刻(PPDE)，成為牛津儀器公司(Oxford Instruments ...

#43. 化学机械平坦CMP设备的原理 - 分析测试百科网

CMP 的主要工作原理是在一定压力下及抛光液的存在下，被抛光的晶圆对抛光垫做相对运动，借助纳米磨料的机械研磨作用与各类化学试剂的化学作用之间的高度有机结合，使被 ...

#44. CMP 機台基本架構-在PTT/IG/網紅社群上服務品牌流行穿搭

一、CMP技術設備及消耗品CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化學機械拋光。 ... 從宏觀上來說，CMP基本原理是：將旋轉的被拋光晶片壓在與其同方向旋轉的彈性拋光 ...

#45. 完全掌握電源供應器基本原理 - Keysight

請至www.wavekeysight.com 完成Wave 2020 註冊，以存取獨家內容，讓您成為工程傳奇。

#46. 用于化学机械抛光工艺中对抛光参数进行动态调整的方法

晶片在CMP工艺中的研磨均匀度与研磨压力、研磨速度以及研磨液的浓度相关。 图1示出了传统的化学机械抛光设备的工作原理。将要进行抛光的晶片100置于自动旋转研磨 ...

#47. 谁知道CMP工作原理具体情况如何 - 行行查

CMP 过程中，抛光液中的成分与工件表面的凸起区域发生化学反应，生成结构较松软的反应层，通过抛光盘的划擦作用，将质软的反应层去除，并露出新的未 ...

#48. 化学机械研磨_百度百科

... 并在1990年成功应用于64MB的DRAM生产中。1995年以后，CMP技术得到了快速发展，大量应用于半导体产业。化学机械研磨亦称为化学机械抛光，其原理是化学腐蚀作用和 ...

#49. WAFER四大製程@ 這是我的部落格 - 隨意窩

... 離子植入區(CMP) 半導體製程: 在半導體製造過程中有幾個比較重要的關鍵： A. ... 化學機械研磨→CMP 首先，從最簡單的Thermal oxidation(熱氧化)說起， 【1】原理- ...

#50. 机械研磨液专题 - 粒度仪

SPOS应用的一个典型例子是半导体制程中的一个工艺过程—化学机械研磨，即称CMP。 CMP工艺原理示意图. CMP slurry的主要组成是氧化物，包括二氧化硅 ...

#51. 微差式離心沉降粒徑分析儀Centrifugal Particle Sizer (CPS)

獨家先分離再檢測技術; 解析度最高的奈米粒徑分析儀; 高精密、高準確、高感度、高效能; 適合CMP漿料、生醫製藥、奈米科技研發用途.

#52. 化學機械研磨製程空氣背壓對晶圓應力分佈和表面不平坦度的 ...

其次由最小能量原理出發，得到二維軸對稱 ... that during the CMP process, it could achieve the purpose to improve the planarization of wafer surface by.

#53. 半导体设备系列(9)-CMP抛光设备 - 韭菜公社

CMP原理. 与传统的纯机械或纯化学的抛光方法不同，CMP工艺是通过表面化学作用和机械研磨的技术结合起来，实现晶圆表面微米/纳米级不同材料的去除， ...

#54. 半導體平坦化CMP技術（修訂版） （新書、二手書 - 讀冊

... 作者：王建榮、林必窕、林慶福，出版日期：20000615，ISBN：9572129147，【二手徵求好處多】本書介紹目前半導體最受矚目的化學機械研磨(CMP)平坦技術。

#55. CMP 应用技术浅析 - 北京国瑞升

CMP ，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光。 ... 从宏观上来说，CMP基本原理是：将旋转的被抛光晶片压在与其同方向旋转的弹性抛光垫上，而 ...

#56. 半導體化學機械研磨（CMP）工藝解密 - 每日頭條

研磨製程根據研磨對象不同主要分為：矽研磨(Poly CMP)、矽氧化物 ... 原理圖. 化學機械研磨磨好了什麼樣？ 光滑了，平坦了，白白嫩嫩的樣子.

#57. 用于超精密硅晶片表面的化学机械抛光（CMP）技术研究

化学机械抛光（CMP）技术作为目前唯一的叮以提供在整个圆硅晶片上全面平坦化的工艺 ... 重点叙述了CMP技术背景、设备、抛光原理、发展现状、存在的问题以及未来的发展 ...

#58. Otsuka - 粒徑分析儀原理 - 辛耘企業

台灣大塚科技與辛耘集合各領域的專業人才，提供利用DLS粒徑分析儀原理開發 ... CMP漿料 · 高分子化工 乳液分散和凝聚 乳膠表面改性劑 聚電解質的功能 ...

#59. linux cmp原理_51CTO博客

51CTO博客已为您找到关于linux cmp原理的相关内容,包含IT学习相关文档代码介绍、相关教程视频课程,以及linux cmp原理问答内容。更多linux cmp原理相关解答可以来51CTO ...

#60. Cmp 製程

化學機械平坦化（英語：Chemical-Mechanical Planarization, CMP），又稱化學機械研磨（Chemical-Mechanical ... 製程深入介紹，清楚瞭解技術與原理！

#61. 台積電用一流人才做二流工作？一文帶你看懂護國神山工程師都 ...

化學機械研磨（CMP）的工作原理. 由於晶片內的電晶體愈來愈多，製程節點愈來愈小，晶片面積愈來愈小，要把數十億個電晶體的源極、閘極、汲極連接起來 ...

#62. 應用DMAIC改善晶圓品質探討－以CMP為例

Implement DMAIC to Improve Wafer Quality － Example of CMP Process ... [4] 桑慧敏，「機率與推論統計原理」，高立圖書有限公司，2008。 ▽展開全部.

#63. 【生尧磨力讲堂】浅谈化学机械抛光

化学机械抛光，也称CMP (Chemical Mechanical Planarization)，又称化学机械平坦 ... 才能让积体电路的品质更高，今天就简单介绍这项加工方式的原理及基本的部件吧！

#64. 半導體材料與製程設備組第1 頁,共3頁

請說明光電效應(photoelectric effect)的原理,在量子力學理論中,. 此效應說明了電磁波的何種性質? ... 請問化學機械研磨(CMP)設備在半導體製程中提供的功能特點為.

#65. C++ sort 原理 - HackMD

C++ sort 原理## 前言禮拜四上課時討論到不同程式語言的sort()底層原理， ... 兩者主要的差別是參數的數量，有用過sort() 的人應該知道，第三個cmp function參數可傳 ...

#66. $鼎龙股份(SZ300054)$ 半导体材料之：CMP抛光垫化学机械 ...

CMP 工艺原理： 随着集成电路技术发展CMP步骤和复杂性增加。下游客户在制造过程中使用CMP工艺的集成电路比例在不断增加，对CMP材料种类和用量的需求也在增加。

#67. 半導體製程技術導論(第三版) | 誠品線上

本書提供半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用，使學生熟悉各種 ... CMP硬體設備12.3 CMP研磨漿12.4 CMP基本理論12.5 CMP製程過程12.6 CMP製程發展 ...

#68. 一站式备齐CMP解决方案，提升晶圆良率，并减少差异性

此技术更普遍运用在新型芯片架构的制造，这些架构通常需要新型材料和多道CMP制程。它的原理很简单：去除多余的材料，并确保洁净、平坦的晶圆表面，以 ...

#69. 水微晶缺點

化學機械研磨｜晶圓平坦化救星，輕鬆了解cmp製程原理.卡爾投資理財經驗庫.理財新手福利社.

#70. 实操汇编原理cmp指令对比sub与cmp指令 - 稀土掘金

实操汇编原理cmp指令对比sub与cmp指令. gzqnb. 2021-10-27 05:59 118. 关注. mov ax, 5 mov bx, 5 cmp ax, bx 复制代码. 这段指令是5-5=0，但是并不是在寄存器中a改值:

#71. 博碩士論文103356025 詳細資訊

2.1.1 化學機械研磨原理說明4 2.1.2 研磨液種類介紹5 2.2 CMP廢水處理說明6 2.2.1 廢水中二氧化矽型態介紹6 2.2.2 二氧化矽對水回收再利用之影響6

#72. CMP加工| 表面处理| 整体解决方案| SEN ENGINEERING株式会社

概要. CMP加工也是表面处理的一个重要技术。可以解决由于起因于材料表面的问题而用以紫外线清洗等也无法解决 ...

#73. 新世代半導體製程技術、測試驗證及淨零減碳培訓班- 課程總覽

課程更要學員了解完整的新世代半導體製程技術原理與技術前後之關聯性，並且介紹以矽為主要材料之半導體製程 ... l 電漿乾蝕刻原理及其應用 ... l 化學機械研磨(CMP).

#74. 運算放大器・比較器是什麼？| 電子小百科 - ROHM

數位電晶體的原理 · MOSFET的特性 · 導通電阻 · 總閘極電荷（Qg） · 安全使用挑選方法 · 元件溫度計算方式 · 負載開關 · 常見問題 ...

#75. 台積電用一流人才做二流工作？專家：晶圓代工早已是先進製程

化學機械研磨（CMP）的工作原理. 由於晶片內的電晶體愈來愈多，製程節點愈來愈小，晶片面積愈來愈小，要把數十億個電晶體的源極、閘極、汲極連接起來 ...

#76. 实操汇编原理cmp指令对比sub与cmp指令 - 腾讯云

实操汇编原理cmp指令对比sub与cmp指令 ... 这段指令是5-5=0，但是并不是在寄存器中a改值: 还没有给ax寄存器放值之前如上图，放入ax和bx之后如下图: 这个时候 ...

#77. 一往直前 - 社團法人台灣平坦化應用技術協會

2023年CMP Forum 平坦化技術論壇 ... 半導體量測技術概念; 光學量測技術; 奈米微粒量測技術; 光學量測(OCD Metrology)的原理; 先進製程控制技術; FinFE製程流程.

#78. 工業區污水處理廠對化學機械研磨廢液處理之成本效益評估

對CMP 廢水對污水處理中化學處理單元之操作影響進行評估，藉此了解CMP 廢 ... 種機械式研磨的原理，配合適當的化學助劑(reagent)，來把晶片表面高低起伏不一.

#79. 厦门大学博硕士论文摘要库 - CORE

化学机械抛光（CMP）加工应用广泛，由于游离磨粒的加工特点，使得加 ... CMG加工技术关键是CMG砂轮的采用，参考CMP原理，CMG.

#80. 拆解CKP和CMP传感器用示波器检查信号原理 - 爱奇艺

拆解CKP和 CMP 传感器用示波器检查信号 原理 ，是科技类高清视频，于20220114发布。视频主要内容：拆解CKP和 CMP 传感器用示波器检查信号 原理.

#81. CMP研磨加工とは | 基礎知識・TDCでの加工事例

CMP 研磨加工の加工方法・加工原理. CMP研磨加工は、一般的なポリッシングとは異なり、スラリーに含まれる加工液の化学的な作用による研磨表面の溶去と、砥粒（シリカや ...

#82. IG美照創意拍法！出動三菱鏡！【勤美學X賽先生】 - Facebook

運用科學 原理 ，自拍出創意美照！ #一秒化身IG網紅#標記你的男朋友看這集在視覺大爆炸的時代，人人對於圖像的要求也越來越高，各式各樣的小道具突顯 ...

#83. 化学机械抛光技术（CMP）中有哪些核心材料？ - 先进陶瓷展

CMP 工作原理示意图. CMP技术对于半导体晶圆加工不可或缺，其加工质量与其中各类关键材料的作用息息相关，由下图可知，在晶圆制造中，CMP抛光材料约占据总成本的7%，而 ...

#84. Sort - 演算法筆記

排序原理. 一、對調（比較）。二、放置（索引）。 對調式排序，將小數字往前挪、大 ... C++ 標準函式庫的sort() ，其參數cmp 就是比較函數。意義是小於，回傳值是bool ...

#85. 【半導体製造プロセス入門】研磨装置(CMP装置)の基礎知識 ...

CMP 装置は原理的に枚葉式ですが、大きな研磨パッドの上に複数枚のウエハーを並べて同時に処理していく場合もあるので、枚葉式の装置が複数集まった ...

#86. 2-1 研磨拋光簡介 - Ming's Blogger

2.4 化學機械拋光 (CMP). 化學機械研磨是結合了化學和機械拋光的原理，以達成對高度複合材料時，可以夠均勻地進行拋光加工(例如積體電路的製造)。

#87. 半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：利用IPA(異丙醇)和水共溶原理將晶圓表面的水份去除 ... TF包括PVD(物理氣相澱積)、CVD(化學氣相澱積) 、CMP(化學機械研磨)。

#88. 半导体制造关键工艺装备CMP，国产装备崛起- 手机21IC电子网

而且随着芯片制造技术发展，CMP 工艺在集成电路生产流程中的应用次数逐步 ... CMP的作业原理：抛光头将晶圆待抛光面压抵在粗糙的抛光垫上，借助抛光液 ...

#89. 化学机械抛光(CMP)技术的发展、应用及存在问题-电子发烧友网

... 机械抛光（CMP） 技术， 这几乎是目前唯一的可以提供在整个硅圆晶片上全面平坦化的工艺技术。本文综述了化学机械抛光的基本工作原理、发展状况及 ...

#90. 什么是CMP化学机械抛光 - 硅溶胶

CMP 化学机械抛光原理. 化学机械抛光应用. 新创纳生产的CMP化学机械抛光液用途广泛，专为精度要求高、表面质量至关重要的抛光应用而设计。 我们CMP抛光 ...

#91. 化學機械研磨後清洗技術簡介 - 廠務123 分享區

CMP 製程雖為先進半導體製程之關鍵技術，但在無塵室中卻屬高污染性之製程(dirty process)。 ... 清洗機制、原理及方法 1. 微塵吸附原理及清洗方法

#92. CKP.CMP工作原理=== 原创 - CSDN博客

CKP.CMP工作原理=== 2010年02月27日传感器的作用是把反映发动机运行状态的各参数转变为电信号并向微电脑输送。微电脑根据这些信号控制各执行器的工作 ...

#93. 粒徑分布分析：透過CMP Slurry製程，了解分析困境與解決方案

粒徑分布分析：透過CMP Slurry製程，了解分析困境與解決方案 ... SEM顯微鏡升級應用：原理與用途解析，液態材料檢測應用介紹. # 粒徑分析介紹：了解AI ...

#94. 買賣斷銷售中以化學機械研磨液(CMP slurry)為主要營收來源

3.通貨緊縮v.s.通貨膨脹，一樣的錢為何變小變大？ 4.Flip Chip技術簡介與應用 · 5.TFT-LCD驅動IC技術原理與趨勢簡介.

#95. 【CMP】化学机械研磨（CMP）工艺制程介绍

【CMP】化学机械研磨（CMP）工艺制程介绍 ... 上一篇【Test】芯片测试基本原理讲解. 下一篇第八届微光刻技术交流会. 分享到：. 昵称：. 验证码：.

#96. 化學機械研磨(CMP)陶瓷座 - 個人新聞台

聯絡方式E-mail:[email protected] MP:0952429561 LIN 公司電話:07-3105730 傳真電話:07-3428490. 精密陶瓷,結構陶瓷,si3n4氮化矽陶瓷,sic ...

#97. 成功大學電子學位論文服務

本論文的第二部份為利用二維CMP理論模型，將實驗測試結果與非均勻晶圓背壓 ... [45]李輝煌，田口方法-品質設計的原理與實務，高立圖書有限公司，2012

#98. PLC原理与应用/: 三菱FX系列 - 第 158 頁 - Google 圖書結果

比较指令包括 CMP (比较)和 ZCP (区间比较)两条指令。 5.3.1 比较指令 1.指令用法比较指令: FNC10 CMP [ S1 • ] [ S2 ・] [ D ・]其中[ S1 ・]、[ S2 ]为两个比较的源 ...