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thermal budget是什麼 在 コバにゃんチャンネル Youtube 的最佳解答

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2021-10-01 13:19:08 有 9 人看過 有 1 人喜歡
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thermal budget是什麼 在 大象中醫 Youtube 的最佳貼文

大象中醫 By 大象中醫

2021-10-01 13:10:45 有 0 人看過 有 0 人喜歡
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大象中醫

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長照是一個劇變的旋轉舞台 百年難得一見 沒有準備的人 被旋轉舞台甩出去 不是坐下就是躺下 而大象中醫是太極的推手 推動著旋轉舞台 讓 所有爬不起來的人 背後有一股推手力量 支撐再站起來
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thermal budget是什麼 在 大象中醫 Youtube 的最佳貼文

大象中醫 By 大象中醫

2021-10-01 13:09:56 有 0 人看過 有 0 人喜歡
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大象中醫

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長照是一個劇變的旋轉舞台 百年難得一見 沒有準備的人 被旋轉舞台甩出去 不是坐下就是躺下 而大象中醫是太極的推手 推動著旋轉舞台 讓 所有爬不起來的人 背後有一股推手力量 支撐再站起來
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社群媒體上有些相關的討論：

thermal budget是什麼 在 [請益] 微影時無法分辨二氧化矽與矽的差異- 看板Tech_Job 的推薦與評價


作者oway15 (clinical lycanthropy)
看板Tech_Job
標題[請益] 微影時無法分辨二氧化矽與矽的差異
時間Sat Feb 10 14:46:50 2018

不好意思

這類問題我認為有業界經驗的人會比較清楚

所以前來詢問

這個月我進行微感測器的製作

製程僅三道光罩製程

基板有事先沉積5000A的二氧化矽

目前進度是僅完成第一道光罩製程

即是：微影→BOE蝕刻→離子佈值→退火

目前於第二道光罩製程的微影上卡關





將目前的試片

直接用顯微鏡照射能看到淺淺的圖型

但是一旦塗佈上光阻

就什麼都看不到了





上面兩張圖是對準晶圓邊緣的校準記號

但是顯微鏡顯示卻是一片漆黑

原本想說因為我使用的是厚光阻AZ4620

就去中山借用了微影系統

他們使用的是AZ1500

塗佈後光阻厚度僅1.5um

但是當他們光罩對準機的光學顯微鏡一打下去

同樣是一片雪白

無法分辨矽與二氧化矽的差異

可是後來想想要是真的無法分辨矽與二氧化矽

那目前市面上的MOSFET到底是怎麼做出來的？

我認為問題一定出在我製程的某個環節上

不好意思打擾大家

謝謝各位

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.200.46.76
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1518245213.A.90B.html
→ articbear: 5000A太淺了吧 覺得應該看不到...02/10 14:53

5000A其實算很厚了吧…

→ resudi: 光阻的折射率跟二氧化矽太接近了02/10 15:16
※ 編輯: oway15 (1.200.46.76), 02/10/2018 15:23:29
推 youkiller: 就機台差異啊 當你有一台6000萬的機台 你就不會有這02/10 15:23
→ youkiller: 個問題了 學校呵呵02/10 15:23
→ poemsing: 列幾種可能：（1）第一道蝕刻吃太淺，導致align mark蓋02/10 15:32
→ poemsing: 上光阻後不明顯。（2）anneal的thermal budget沒算好，02/10 15:32
→ poemsing: 導致oxide還是amorphous。(3)確認第二道mask 是不是沒la02/10 15:32
→ poemsing: yout align mark，很蠢，但是真的有可能……(4)OM or SE02/10 15:32
→ poemsing: M設定錯誤，OM焦距對比調看看/SEM 能量調高點02/10 15:32

您好

其實顯微鏡夠亮是看得到圖形的

但是那光線強度無法用於微影校正

應該會使光阻曝光…

當時於中山做完微影後

用他們的顯微鏡檢查是可以明顯判別的

不過如下圖所示

無法對準硬曝光的結果就是點都偏掉了

焦距與能量強度因為當時並非我操作

會再詢問謝謝


推 m4vu0: 去問邱主任的實驗室學生02/10 15:33

會問問看感謝

推 rgnvgy: 我覺得是p大說的3，la mark 問題 沒有或線寬太小02/10 15:58
噓 sendtony6: 1.5um 很厚好嗎...另外你跑錯地方了02/10 16:04

NEMS版流量太低跑到這邊

真不好意思

→ sendtony6: OM的DOF是nm等級的~你蓋那麼厚看不到前層是很正常02/10 16:06
→ sendtony6: 4樓亂教 SEM只看的到當層~跟SEM一點關係都沒有02/10 16:12
推 melzard: 有沒有試過把光阻拔掉再去看一下alignment mark?02/10 16:32
推 melzard: OM就看不到的話那和SEM就無關聯了02/10 16:34
※ 編輯: oway15 (110.50.179.86), 02/10/2018 16:39:10
推 gj942l41l4: 在MEMS來說1.5um是薄沒錯02/10 16:54
推 gj942l41l4: 你要不要試試看 整片不曝直接顯影 再拿去外面的OM或02/10 17:00
→ gj942l41l4: 可能線寬太細了 外面強光看得到的話 可能把mark的線02/10 17:03
→ gj942l41l4: 寬加大試試02/10 17:03
推 film: Level sensor?02/10 17:07
推 gj942l41l4: 反正只要不是蝕刻沒吃出來或光阻流不進去 一切好談02/10 17:10
→ gj942l41l4: aligment mark的線寬不會影響你實際成品的功能 02/10 17:11
→ shaddle: 如果你的AM只有0.5um深，看不到很正常02/10 17:32
→ articbear: 同意樓上S大 我的意思就是5000A要當AM太淺了吧QQ02/10 18:06
推 articbear: 我之前學生時代做的MOS第二道光罩要對的AM是用metal ga02/10 18:08
→ articbear: te順便一起做的 02/10 18:08
推 sendtony6: 製作前段STI的PR都很薄，因為resolution才夠，1.5 um這 02/10 18:24
→ sendtony6: 種都是後段甚至是封裝業在使用的02/10 18:24
→ wzmildf: 封裝都馬十幾um在摳的02/10 19:34
推 lponnn: thermal budget不是這種用法吧?02/10 21:07
→ lponnn: 抱歉會錯意惹02/10 21:28
推 ricyear: 電子顯微鏡看不到前層拉 業界都是用雷射光源反射訊號對02/10 21:48
→ ricyear: 準然後用可見光量測結果拉 02/10 21:48
推 jkasc28s: 你sio2離子佈值完就洗掉了吧，要一個KEY光罩先RIE基板吃 02/10 22:15
→ jkasc28s: 出key圖形方便後面對準 02/10 22:15
推 joshhuang100: 以前用om勉強能看出500a深的Trench你這沒理由看不到 02/11 08:01
推 j2222222229: 學校機台的問題，有個方法是可以用負光阻搭配oxide02/11 11:11
→ j2222222229: 做微影變化02/11 11:11
推 iFann: GG的N28開始double paterning製程段就有這樣狀況02/11 12:01
→ iFann: 上光阻時有三層(有一層含Si),要搭配不同蝕刻薄膜的連續製程02/11 12:03
→ iFann: 才能做完(我講的很模糊,關係人應該知道是哪段)02/11 12:03
推 ming5566: 多一道光罩隨便co個金屬上去當AM不就好惹02/11 12:25
推 ticketwoon: 一開始先在空地做alignment mark吧。選Au or Ti 加上02/11 14:39
→ ticketwoon: lift off process 02/11 14:39
推 S0053011: 想法同上層,但你後面的mark應該要打掉重來，有金屬當mar02/11 19:07
→ S0053011: k比較好02/11 19:07

感謝各位指點

目前看來我最有可能做到的方法

就是沉積完二氧化矽之後

先微影出校準記號

後續沉積鈦＋白金後用金屬剝離法製作出圖形

然後才開始進行反應區製作

已經看到改善的方向了

感謝各位幫忙

謝謝
推 lolitass: 看不懂Orz02/11 19:45
※ 編輯: oway15 (61.230.10.204), 02/11/2018 20:51:27
※ 編輯: oway15 (61.230.10.204), 02/11/2018 20:52:00
推 ann167c: 同樓上，建議先作一個第0層mark，金屬比oxide的辨識度高 02/12 22:34
推 giggs11s: 某S6大不要亂教好嗎...，STI層薄是因為DOF小，膜厚才薄 03/04 00:28
→ giggs11s: ，還有FEOL也是有光阻厚的層，有些離子注入層是使用厚 03/04 00:28
→ giggs11s: 光阻 03/04 00:28






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Best projectors · Portable mini projectors · Budget projectors · Projector screens ... Men's button‑up shirts · Leggings · Thermal underwear ...

#69. DARPA Unveils New Program to Recruit Early Career ...

The DARPA Innovation Fellowship Program will select fellows to develop and manage a portfolio of high-impact, exploratory research efforts to ...

#70. 新通訊 07月號/2019 第221期 - 第 64 頁 - Google 圖書結果

對此,Davies表示,以Arm 推出的幾款處理器來說,ML處理器的運算能力是最強的, ... 的優勢在於運算效能強大、記 憶體容量大且網路空間大、熱預算(Thermal Budget)足夠; ...

#71. London Is Now the World's Largest Low-Emissions Zone. Was ...

The city now has fewer dirty cars and better air quality, and while the expansion of the Ultra Low Emission Zone has sparked controversy in ...

#72. Civil Engineers : Occupational Outlook Handbook

About BLS · History · Our Leadership · Budget and Performance ... develop, build, and test mechanical and thermal sensors and devices.

#73. Pyqt5 interactive plot

... Javascript Interactive PyQt5 widget for fast analysis of LIGO measured transfer functions Shot Noise Calculator Latest Coatings Thermal Noise Budget in ...

#74. 1080ti Tdp - Sonnenblumenmehl.de

就拿索泰的1080tiPGF来说，它的TDP是280w，官网推荐的电源是750w；相对的公版 ... The thermal design power (TDP) of a GeForce GTX 1080 Ti is rated as 280 Watts, ...

#75. 肉多多南京店铺

值得佩服的是肉多多餐飲集團於2017年底又開發了一個副牌「肉多多麻辣火鍋專賣店」，第一 ... AARP Priorities Include Cost Savings for State Budget.