關於 duv深紫外光微影技術 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...

線路圖案的尺寸大小取決於晶片各層，也就是說，晶片各層的曝光需要不同類型的微影設備。 ASML的EUV極紫外光機台專門曝光最複雜、精細的線路圖案，而DUV深 ...

#12. 極紫外光微影之高階材料檢測分析 - 材料世界網

本文針對極紫外光微影(EUV)技術所需之光罩製作、極紫外光光阻研發評估過程 ... 與空氣所吸收，所以無法以前代深紫外光(DeepUltraviolet; DUV)之穿透/ ...

#13. 微影照像

微影照像. 1.1. 緒論. 1.2. ULSI微影技術的延伸與極限. 1.3. 提升光學微影製程的技術. 1.4. 深次微米微 ... 更短波長的深紫外光（deep UV, DUV）。主要的技術挑戰為低 ...

#14. 微影光罩的不同清洗方法的效果比較 - 國立交通大學機構典藏

法，為接下來的世代－極紫外光微影技術（EUVL）及浸潤式微影技術 ... 本研究主要針對DUV（深紫外光）光罩製造過程的清洗方式進行探討，. 希望能經由探討各光罩清洗方法 ...

#15. TWI613507B - 極紫外光之微影光罩 - Google Patents

由於有明顯較窄的照明波長(λ=13.5奈米)，所以極紫外光(EUV)微影有可能補足且最終取代習知深紫外光(DUV)微影，除了其他效益以外，它還可提供增強的圖案化解析度及較低的製程 ...

#16. 用於次25 奈米極紫外光曝光機之新穎反射型衰減式相位移光罩

相位移光罩(phase-shifting-mask) 是目前一種極為重要的解析度增益技術，它將被應用於未來 ... 光學微影技術有很大的不同。 ... 在深紫外光(DUV) 微影術中，高穿率透衰.

#17. 台積電不能沒有它！艾司摩爾崛起的秘密 - iQVALUE 智股網

例如，華為麒麟9000晶片為最先進5奈米製程，主要是台積電代工，這項先進製程只有荷商艾司摩爾極紫外光（EUV）微影設備能因應所需，不過艾司摩爾有美國資金和技術背景， ...

#18. 林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來

在193奈米波長的基礎上，林本堅利用最不起眼的「水」，演繹了完美的光魔術，他在193奈米乾式微影鏡頭前滴上一層一公釐至二公釐的水，讓波長變短。波長越短，越強解析度的 ...

#19. DUV - 搜尋- 旺得富理財網

閎康表示，公司今年加大全球布局力道，以及提高技術門檻，拉大與競爭者距離策略 ... ASML先前提到，預計將交貨約60台EUV極紫外光微影設備，以及約375台DUV深紫外光微影 ...

#20. Ch 6: Lithography

蝕刻與光. 阻剝除. 4. 光罩/倍縮光罩. (Mask). 曝光. Exposure. 顯影. Development. 紫外光. 負光阻. 基片. 正光阻. 基片. 光阻. 微影製程(Lithography).

#21. DUV深紫外光微影技術 - 新唐人電視台

DUV深紫外光微影技術 ... 5日，外媒報導，美國官員正在遊說荷蘭政府，禁止半導體設備製造商艾司摩爾（ASML），出售半導體成熟製...

#22. 荷蘭夏季前頒布半導體設備出口新規定影響ASML部分DUV設備

... 將在夏季以前公布內容，這代表荷蘭將加入美國遏制對中科技出口的行列，艾司摩爾(ASML-US) 至少一部分的深紫外光(DUV) 曝光微影系統預料受到影響。

#23. 微影技術 - Valérie Combette-Javault

然而EUV光罩與傳統的光罩截然不同，當採用nm波長的極紫外光微影技術 ... 我們也製造DUV深紫外光微影系統的光罩傳送模組，並設有EUV極紫外光收集器微 ...

#24. EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術

微影 製程(Lithography) 的本質就是讓光穿透光罩，把設計好的圖案映射在晶圓 ... 台積電等公司採用DUV 深紫外光、波長落在200奈米上下的光去進行製造。

#25. 美要掐住中國晶片業致命點施壓ASML停賣DUV機台給中國

知情人士說，美國官員正在游說荷蘭當局禁止ASML出售成熟製程所需的深紫外光（DUV）微影機台。這類設備所用於的晶片製程技術比先進技術落後，但仍是製造汽車、手機、 ...

#26. 荷蘭晶片設備銷陸禁令加嚴| 產業熱點 - 經濟日報

管制延伸至深紫外光機台衝擊中芯擴產腳步台廠營運壓力有望緩解 ... 艾司摩爾，但點名將受影響的一項技術是DUV微影系統，這也代表現有的最尖端微影設備 ...

#27. 深紫外光光罩抗反射技術及次100奈米世代電子束直寫阻劑特性 ...

一個是針對在深紫外光波段，光罩的抗反射層技術;另一個是對深紫外光的光阻， ... 一正型的深紫外光化學放大性阻劑(Shipley® UV86)，在電子束微影製程、蝕刻製程以及 ...

#28. 跨入16奈米世代一步到位 - 龍騰文化

國家奈米元件實驗室研發的創新技術，讓整個微影製程縮減為只需一個步驟就可以 ... 奈米的深紫外光（DUV）做為微影製程的曝光光源，搭配台積電微製像技術發展處處長 ...

#29. 呼應美對陸禁令荷蘭擬祭新出口管制、對象DUV - 新聞

呼應美國對中國祭出的晶片管制禁令，荷蘭計畫導入半導體(晶片)技術新出口管制措施、對象為深紫外光(DUV)微影設備。 路透社9日報導，荷蘭政府8日表示， ...

#30. 奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

除了曝光環境的限制外，光學系統（optics）與光阻材料及計上亦與深紫外光（DUV）微影截然不同。該光學系統無法以高純度熔融玻璃作為材料，而必須使用CaF2晶體；但是該晶體 ...

#31. 美對陸晶片設備禁售令恐擴大傳要ASML別賣DUV - 財訊

根據消息，美國官員希望荷蘭政府禁止ASML販售部分較舊的深紫外光曝光 ... 年至今都未曾允許ASML把最先進的極紫外光（EUV）微影設備賣給中國晶片商。

#32. 玻璃成瓶頸EUV微影設備缺貨將持續3年？ - 電子工程專輯

不光是EUV微影，前不久ASML發出警示訊號指出今年只會有60%的深紫外光(DUV)微影設備訂單得到滿足。在致分析師與投資者的季報電話會議上，ASML執行長Peter ...

#33. 跨入16奈米世代一步到位

重點提要□電晶體的研發走進16奈米世代後，現有的微影技術已不再適用， ... 奈米的深紫外光（DUV）做為微影製程的曝光光源，搭配台積電微製像技術發展 ...

#34. 荷蘭管制DUV 出口，限制對準精度2.5 奈米以上設備

外媒報導，荷蘭8 日表示，半導體技術出口將有新管制，於夏天前實施。微影曝光設備大廠艾司摩爾(ASML) 隔天宣布，深紫外光微影曝光設備(DUV) 必須申請 ...

#35. 半導體用光阻劑之發展概況

依曝光的光源不同，光源可區分為紫外線(UV)、深紫外線(Deep UV；DUV)和超紫外線(Extreme UV；EUV)三種。和紫外線搭配的為g-line(436nm)和i-line(365nm)光 ...

#36. 先進光學曝光系統與極紫外光(EUV)就? - Ansforce

先進光學曝光系統與極紫外光(EUV)就看這一篇！ ... 深紫外光. DUV. Deep Ultraviolet. 準分子雷射. Excimer laser. 極紫外光 ... 浸潤式微影技術.

#37. DUV 深紫外光微影技術的問題包括PTT、Dcard、Mobile01

具深紫外光多孔隙布拉格反射鏡對穿隧接面光電特性影響. 為了解決 DUV 深紫外光微影技術 的問題，作者楊鎔羽這樣論述：. 本研究為了探討如何 ...

#38. 各國半導體重要技術及未來發展趨勢 - 工程科技推展中心

微影 (Lithography)是半導體製造中相當重要的流程，透過利用光罩及光阻，將圖案轉移至晶圓表面，目前深紫外光微影(Deep Ultraviolet Lithography, DUV ...

#39. 第二章文獻回顧

利用黃光微影結合非等向性蝕刻技術，製作奈米柱陣列的研究有許多，敘. 述如下：. 1995 年，Nassiopoulous 等人【11】使用深紫外光(Deep ultraviolet, DUV)微. 影術與AZ ...

#40. 台積電重要「軍火商」布局中國員工增三倍至 ... - LINE TODAY

... 極紫外光微影技術）設備至中國，而主要用在成熟製程的DUV（深紫外光微影 ... 從EUV擴大至DUV，艾司摩爾的損失可能達到20億美元（逾600億台幣）。

#41. 美國無法阻止DUV設備輸入中國，紅色供應鏈仍可打價格戰搶單

... 大部分電子晶片所需的設備——深紫外光刻機台（DUV）從而抑制中國崛起。 ... 以國家安全為由，要求艾司摩爾出口先進製程設備極紫外光微影（EUV）。

#42. SEMI示警美堵不住DUV設備銷陸| 豐雲學堂

去年已限制陸資晶圓廠取得先進製程所不可或缺的極紫外光（EUV）設備，然後 ... 預期不會全面禁止出口DUV微影設備，只會禁止可以支持前沿製造的工具。

#43. 邏輯、記憶晶片產線需求聲聲催ASML EUV／DUV左右逢源

台積電可說是全球把光學微影多重曝光技術最徹底練兵的一家半導體業者。 ... 短缺，也同時帶動深紫外光(DUV)與EUV在晶圓廠產能擴增階段下的高度需求。

#44. [新聞] 拜登慘了？逼ASML舊機台不能賣大陸這國 - nStock

... Schreinemacher）表示，不會草率跟進美國對大陸晶片出口製造技術實施新限制。 ... 向大陸出口最先進極紫外光（EUV）微影設備，但仍可銷售上一代深紫外光（DUV）機 ...

#45. EUV機台耗電量增10倍台積電大數據提升5%效率

半導體技術日新月異，台積電指出，極紫外光（EUV）技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影（DUV）機台 ...

#46. 注意！美國又有新招制裁中國半導體產業？ - 觀策站

美中科技戰也是某種型式的戰爭，只是沒有火炮四射＋血肉橫飛，但是戰略思考相同， ... 把「深紫外光微影設備」（DUV）賣給中國，而且除了荷蘭，也施壓日本要比照辦理。

#47. 中美台韓狂搶！台積市值創歷史新高，都要感謝艾司摩爾這個機台

全球半導體設備龍頭艾司摩爾（ASML）的EUV極紫外光微影機台，這個每台售價 ... 去年艾司摩爾較低階的深紫外光（DUV）機台接單量，就創下歷史新高。

#48. 美國遊說ASML禁售DUV設備給中國台積電、聯電撿到槍中芯 ...

深紫外光 （DUV） 微影設備是半導體製程不可缺的主要設備，荷商ASML、日本 ... 此外，美國政界人士認為，現代晶片封裝技術進步，使中國公司能夠設計和 ...

#49. 台積電重要「軍火商」布局中國員工增三倍至1500人！ 但為何 ...

... （極紫外光微影技術）設備至中國，因此主要用在成熟製程的DUV（深紫外光微影 ... 從EUV擴大至DUV，艾司摩爾的損失可能達到20億美元（逾600億台幣）。

#50. ASML設備輸陸最快月底擴大管制｜方格子vocus

艾司摩爾是全球最大的微影設備製造商，其產品涵蓋了極紫外光（EUV）、浸潤式深紫外光（DUV）和乾式深紫外光（Dry DUV）等各種技術，廣泛應用於半導體 ...

#51. 讓台積電花最多錢的公司！ASML擴大徵才跟晶圓廠搶人

台灣半導體產業前景看旺，全球半導體微影技術龍頭荷商艾司 ... 台南設有四個客戶支援辦公室，提供客戶支援服務，另設立DUV深紫外光與EUV極紫外光全球 ...

#52. 美國擬限荷蘭DUV光刻機輸出中國阿斯麥CEO擔心世界半導體 ...

ASML首席執行官溫彼得周三警告，如果美國迫使ASML停賣深紫外光（DUV）微影機台給中國，世界半導體供應鏈將面臨中斷風險。 ASML首席執行官溫彼得。

#53. ASML沒賣EUV給中芯台廠優勢剩多久？ - 商業周刊

台積電在生產第一代7奈米製程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光機，透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。業界人士指出，DUV機台透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線 ...

#54. 半導體光阻市場與技術發展 - ITIS智網

半導體微影製程依使用光源的不同，可區分為紫外線(UV)、深紫外線(Deep UV, DUV)和超紫外線(Extreme UV, EUV)三種，而相對應和紫外線搭配的為g-line ...

#55. 先進製程推動EUV需求ASML加速布局 - 新電子雜誌

... 預期，主要原因除了來自於客戶對於深紫外光(DUV)微影系統和全方位微影 ... 另一方面，ASML也繼續提升EUV技術的吞吐量(Throughput)；在一個客戶 ...

#56. 荷蘭晶片禁止輸陸艾司摩爾DUV設備受限| 科技 - 非凡新聞

這代表荷蘭將加入美國遏制對中科技出口的行列，荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾，至少一部分的深紫外光DUV微影系統預料受到影響。

#57. 半導體微影製程

微影技術 在積體電路晶片的製造中扮演重要的角色,而不斷改 ... 於量產階段前,業界急需一能夠延長深紫外光(DUV, Deep. Ultraviolet)微影裝置(例如KrF ...

#58. ASML單滿手家登、帆宣沾光|產業新聞 - IEK產業情報網

... 先進製程大量採用EUV技術，微影設備大廠艾司摩爾（ASML）第三季極紫外光（EUV）機 ... 需求，且採用7奈米及更先進製程，帶動半導體廠對EUV及DUV（深紫外光）設備.

#59. 陸晶元產業恐重挫！ 美向荷施壓不出口DUV給中國ASML股價 ...

《彭博社》引用消息人士稱，美國政府正在向荷蘭遊說，希望ASML 禁止向中國出售深紫外光曝光微影系統，又稱DUV 。雖然DUV 不是最新製造先進製程晶片的 ...

#60. 〈 觀策站〉注意！美國又有新招制裁大陸半導體產業？（上 ...

美國與中國大陸的科技戰也是某種型式的戰爭，只是沒有火炮四射＋血肉橫 ... 政府禁止荷蘭公司ASML把「深紫外光微影設備」（DUV）賣給大陸。

#61. 6 Photolithography

微影技術 (Photolithography) ... UV light. Substrate. Mask/reticle. Exposure. UV light. Photoresist. Exposure. Negative ... 在DUV光線照射下造成光阻產生光酸.

#62. 一文看懂一台光刻機背後的美中激烈博弈

對於光刻機而言，最核心的技術就是光源，光刻機按光源技術先進次序可分為紫外光（UV）、深紫外光（DUV）、極紫外光（EUV）三大類。

#63. 美国拟禁止ASML对华出售DUV光刻机 - OFweek电子工程网

根据消息人士透漏，美国政府正在说服荷兰政府，禁止ASML出售一些运用在成熟制程的深紫外光曝光微影系统（DUV）。而这些DUV系统虽然在技术层次上无法与 ...

#64. 晶片業耗能高！傳台積電將關閉部分EUV機台 - ESG遠見

台積電曾指出，EUV技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但每台機器耗電量約為1百萬瓦特，是傳統深紫外光微影（DUV）機台的10倍以上。

#65. 這設備30年前問世至今仍在使用，助ASML登上半導體微影曝光 ...

不論是極紫外光微影曝光設備(EUV) 或是深紫外光微影曝光設備( DUV)，當前都被廣泛用在邏輯晶片與記憶體生產上，可說是當前半導體製程中不可或缺的關鍵 ...

#66. TrendForce：烏俄衝突影響半導體氣體供應晶片生產成本恐上漲

惰性氣體主要應用於半導體微影製程，該製程線寬需進一步微縮至220nm以下時，即開始進入DUV（深紫外光）光源準分子雷射世代，以惰性混合氣體與鹵素分子 ...

#67. 全球半數EUV 光刻機都在台積電手上，半導體技術領先秘密在 ...

與過去的DUV（深紫外光微影）曝光機相比，EUV 曝光機的吞吐量相對較低，每小時可曝光約120 片～175 片晶圓，目前技術改良後則提升到275 片，但是， ...

#68. 甚麼是深紫外光DUV ? | ConvergEver

紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）/ 深紫外線DUV=== 紫外線（Ultraviolet或簡稱UV）是波長比可見光短，但比X射線長的電磁輻射，波長範圍在10納米（nm） ...

#69. 中芯花12億美元買DUV設備恐衝擊台廠晶圓代工？

但艾司摩爾強調，中芯這次大量採購，是使用較舊型技術的DUV深紫外光微影設備。 中芯和艾司摩爾採購合約。圖：非凡新聞. 如今中芯晶片找到新出路，市場 ...

#70. EUV機台耗電量增10倍台積電大數據提升5%效率| 產經 - 中央社

半導體技術日新月異，台積電指出，極紫外光（EUV）技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影（DUV）機台 ...

#71. DUV和EUV光刻机的区别在哪？ - 中国科学院微电子研究所

由于F2光源无法穿透水，因此无法和浸没式技术相结合，进一步提升分辨率。ArF湿法在光刻精度上胜于F2。 以ArF浸没式为切入点，ASML成为DUV时代龙头。2002 ...

#72. 電子產品內最先進的晶片非靠它不可！ASML 公開驅動半導體 ...

半導體,晶片,人才培育,ASML,艾司摩爾,新年禮盒,晶片微影技術, ... 目前，ASML的DUV（深紫外光）微影系統是當前半導體產業用於量產晶片的主力。

#73. 節能有成！EUV機台耗電量增10倍台積電靠「大數據」提高5 ...

台積電指出，極紫外光（EUV）技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影（DUV）機台的10倍以上。

#74. 真正掐住台積電脖子的企業艾司摩爾（ASML） - 林子揚的部落格

ASML首席技術長在2022年9月時已表示：2023年會交付首台High-NA EUV曝光 ... 中芯2021年3⽉宣布，艾斯摩爾已經簽約的12億美元深紫外光（DUV）微影設備 ...

#75. ASML研發第二代EUV極紫外光刻機效能提升70% 2025年量產

今年，台積電、三星都會開始量產7nm EUV製程，現有的EUV光刻機亦差不多成熟了，雖然產量比起傳統的DUV深紫外光刻機還有所不如，不過已經能夠穩定量產 ...

#76. 台積電拚5奈米關鍵技術！影片直擊極紫外光EUV微影技術是 ...

線路圖案的尺寸大小取決於晶片各層，也就是說，晶片各層的曝光需要不同類型的微影設備。 ASML的EUV極紫外光機台專門曝光最複雜、精細的線路圖案，而DUV深 ...

#77. IBM晶片新製程技術突破193奈米光蝕刻極限 - iThome

IBM的Almaden研究中心微影材料經理Robert D. Allen博士表示，IBM這套採用深紫外光微影技術（DUV lithography）的Nemo系統預計可讓晶片製造業者現階段的製造方法再維持7年 ...

#78. 半導體微影製程急先鋒陳正方博士從矽谷闖天下

美日業界競爭開發由日本廠商領先的光罩像位移技術以及美國IBM的深紫外光（DUV）之光源技術。後來深紫外光在1997年由荷商ASML先行推出曝光機而勝出。但是要在1995年之前，就 ...

#79. EUV 極紫外光！一個你應該知道與台積電相關的技術

你知道為什麼台積電厲害，厲害在哪裡嗎？不是買肝厲害喔。新聞常在報的五奈米、三奈米先進製程、EUV微影技術等等，不清楚代表什麼意思，不用擔心， ...

#80. 《各報要聞》ASML設備輸陸最快月底擴大管制 - 富聯網

... 波對中國的半導體設備出口禁令，相關禁令將擴大限制微影設備巨頭艾司摩爾（ASML）出口產品至中國，預計浸潤式深紫外光（DUV）相關設備將受衝擊。

#81. 美日荷晶片禁令7月全到位外媒爆重量級公司設備將被禁止輸陸

... 傳統武器及軍商兩用貨品、先進技術產品出口的條約，於1996年5月12日於 ... 於成熟製程、採用深紫外光(DUV)微影設備也無法出貨，讓大陸晶片製造商 ...

#82. 彭博：荷蘭ASML對中晶片設備出口最快30日面臨新限制

... NXT:2000i、NXT:2050i及NXT:2100i等深紫外光（DUV）沉浸微影設備。艾司摩爾已不得出口最先進的極紫外光（EUV）沉浸微影設備給中國企業。

#83. 定錨產業筆記

科技 產業趨勢領航者. ... 深紫外光(DUV)微影製程： 先在鍍上薄膜的矽晶圓表面，塗佈一層光阻劑，再用準分子雷射將光罩畫好的電路圖轉印到矽晶圓表面，最後用顯影劑將不 ...

#84. 韓媒：三星電子、 台積電今夏可能面臨電缺電威脅

此外，台積電也說，極紫外光（EUV）微影設備耗電量是深紫外光（DUV）微影機台的10倍以上。 ※ 歡迎用「轉貼」或「分享」的方式轉傳文章連結；未經授權，請 ...

#85. 微影技術 - Jaime Arnau Abogados

透過高能量、波長短的光源，將光罩上的電路圖案轉印到晶圓的光阻劑塗層。 EUV光源波長比目前DUV（ 深紫外光刻（維基數據所列：Q） ）的光源波長短，約為15 ...

#86. 台積電EUV技術大突破~【OG咖啡-ATT鑽石團隊】 - 隨意窩

晶圓代工龍頭台積電（2330）全力衝刺10奈米製程研發，並計畫採用新一代極紫外光（EUV）微影技術，而設備大廠艾司摩爾（ASML）昨（24）日證實，台積電 ...

#87. 韓媒指不只台積電面臨電力短缺問題三星今夏也有同樣隱憂

此外，台積電的極紫外光（EUV）微影設備耗電量更是深紫外光（DUV）微影機台的10倍以上。 廣告. 面對全球天候異常和電力供應不穩定的情況，三星電子和 ...

#88. 半导体制造技术深紫外DUV - 百度文库

在刻蚀工艺中，保护光刻胶下面的材料（各种绝缘介质薄膜、金属薄膜等）完好无损、 不被刻蚀。 随着电路密度和关键尺寸的不断缩小，为了将亚微米线宽的图形转移到硅片 ...

#89. 新通訊 01月號/2019 第215期 - 第 76 頁 - Google 圖書結果

劉美君觀察,台積電在量產初期採用深紫外光(DUV)微影,利用沉浸式曝光與多重曝光技術平穩轉進7奈米製程;與10 奈米FinFET製程相較,台積電的7奈米FinFET可在電晶體數量相同 ...

#90. 深次微米矽製程技術 - 第 23 頁 - Google 圖書結果

... SIA )針對微影照像曝光技術提出的可能解決方法和里程,如圖 1.16 所示。第一顆 IC 運出廠 1999 2002 2005 2008 2011 2014 180- 248 奈米, KrF ,深紫外光( DUV ) ...

#91. 半導體製程設備 - 第 105 頁 - Google 圖書結果

唐光亞,談 0.18 微米以下 ULSI 製程的光罩技術,電子月刊,五卷十二期, ... 許世欣,深紫外光微影系統蔚為主流,電子月刊,五卷十一期, pp.206 ~ 208 1999 . 12.

#92. 半導體製程設備技術 - 第 269 頁 - Google 圖書結果

而光學微影製程中,使用的光源種類如圖 5.16所示,較常使用為光源有兩大類:紫外光區(Ultraviolet Light, UV)的汞燈(Hg Lamp)及深紫外光區(Deep Ultraviolet Light, DUV) ...

#93. 理財周刊 第1088期 2021/07/02 - 第 48 頁 - Google 圖書結果

... 奈米以及更先進的製程,半導體廠對於 EUV 及 DUV (深紫外光設備需求就更形增加。 ... 紫外光機台需求升溫,微影設備大廠艾司摩爾( ASML )以及半導體設備大廠應用材料 ...

#94. 理財周刊 第1155期 2022/10/14 - 第 31 頁 - Google 圖書結果

... 技術也推進至七奈米。證達一四~二八奈米,被制裁的中頸進行突破,目前本土 DUV 設備已驗備及電子設計自動化( EDA )軟體等瓶中國也試圖在深紫外光( DUV )微影設製程。

#95. 刚刚，中国驻美大使馆重磅发布！美国突下重手 - 新浪财经

荷兰政府3 月时宣布有关芯片制造技术的最新出口管制计划，当时未直接提到中国和ASML，仅称出口管制将针对三种型号的浸入式深紫外光(DUV) 机台。